Научные результаты

Основные результаты научной деятельности отдела:

• Развита аналитическая теория электронного транспорта в диодах металл-полупроводник с барьером Мотта, учитывающая контактные (туннельные или эмиссионные) явления на границе металл-полупроводник и объёмные (инжекционные) процессы в полупроводниковом слое. Результаты использованы для анализа токовой нелинейности в детекторных диодах с барьером Мотта и для оптимизации параметров диодов, с целью улучшения характеристик детектирования;
• Разработана лабораторная технология получения германия в плазменном разряде смеси SiF₄ или GeF₄ и водорода кремния и водорода;
• Разработана технология и изготовлена установка магнетронного напыления пленок YBCO из многокомпонентной мишени, позволяющая получать сверхпроводящие пленки на обеих сторонах подложки;
• Разработана одностадийная технология плазмохимического осаждения (толщиной несколько микрон) слоев кремния из его тетрафторида, обеспечивающая минимальное изотопное разбавление;
• Разработана методика безэталонного количественного анализа изотопного состава образцов Si методом вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС).