Технология магнетронного напыления пленок YBCO

Разработана технология и изготовлена установка магнетронного напыления пленок YBCO из многокомпонентной мишени, позволяющая получать сверхпроводящие пленки на обеих сторонах подложки. По такой технологии созданы элементы сверхпроводниковой электроники: планарные высокодобротные фильтры мегагерцового диапазона с добротностью более 2×10⁵ (77 К); полосовые фильтры 4-го порядка на частоту 3 ГГц с полосой пропускания 1%; дисковые резонаторы на частоту 10 ГГц с добротностью более 2×10⁴ (77 К).

Четырехзвенный микрополосковый фильтр на основе пленок YBa2Cu3O7и его амплитудно-частотные характеристики.