Автоэмисионный просвечивающий электронный микроскоп с энергетическим ОМЕГА-фильтром LIBRA 200MC

Предназначен для исследования кристаллической структуры и состава тонких образцов. Позволяет получать изображения в режимах:

• просвечивающей электронной микроскопии с использованием энергетического фильтра;
• просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения;
• спектроскопии энергетических потерь электронов;
• дифракции электронов.

Использование ОМЕГА-фильтра позволяет проводить спектральный анализ для определения химического состава вещества при исследованиях полупроводников, материаловедческом анализе и исследованиях в других областях, а также обеспечивает интегральную фильтрацию изображения.

Оснащен CCD камерой Gatan Ultrascan 895, разрешение 4096×4096 пикселей.

Увеличение 8x — 1 000 000x.

Информационный предел <0.14 нм.

Cветлопольное изображение поликристаллической пленки 30 нм CoFe (метка = 100 нм).	Изображение отдельного кристаллита пленки 30 нм CoFe (метка = 10 нм).	Микродифракция на пленке 30 нм CoFe.