Приставка для электронной литографии Raith ELPHY PLUS

Подсоединена к сканирующему электронному микроскопу SUPRA 50 VP. Позволяет проводить экспонирование электронным пучком поверхности образцов с нанесенным резистом по виртуальному шаблону, заложенному в управляющий компьютер, что позволяет после проявления получать резистивные маски различной топологии с размерами, которые определяются свойствами резистов.

Снимки магнитных структур, изготовленных с использованием электронной литографии