Создан контактный рентгеновский микроскоп

Создан контактный рентгеновский микроскоп, обеспечивающий нанометровое пространственное разрешение при регистрации изображений на фоторезисте и субмикронное — при цифровой регистрации. Детектор микроскопа для цифровой регистрации преобразует рентгеновское излучение в видимое и строит увеличенное изображение на ПЗС-матрице. Благодаря естественному разделению на «рентгеновскую» и «видимую» части, конструкция микроскопа позволяет легко перестраивать увеличение и поле зрения микроскопа без перенастройки рентгенооптических элементов. Рабочая длина волны может изменяться в пределах 3−40 нм путем замены многослойных зеркал. В основе результата лежат прорывные разработки авторов в области «первопринципных» методов изучения шероховатости супергладких поверхностей и формы зеркал, ионно-пучковых методов коррекции локальных ошибок и асферизации подложек, позволившие изготовить многослойные зеркала дифракционного качества для мягкого рентгеновского диапазона.

Публикации:

• N. I. Chkhalo, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. V. Sherbakov, E. V. Skorokhodov, M. V. Svechnikov. Sub-micrometer resolution proximity X-ray microscope with digital image registration. Review of Scientific Instruments 86, 063701 (2015)
• N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, M. V. Zorina. A stand on the base of atomic force microscope to study substrates for imaging optics. Review of Scientific Instruments 86, 016102 (2015)
• M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, and N. N. Salashchenko. Resolving capacity of the circular Zernike polynomials. Optics Express 23, 14677−14694 (2015)
• D. A. Gavrilin, S. V. Kuzin, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, A. A. Soloviev. Application of point diffraction interferometry for measuring angular displacement to a sensitivity of 0.01′′. Applied Optics 54, 9315−9319 (2015)
• N. I. Chkhalo, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, A.A. Soloviev. Problems in the application of a null lens for precise measurements of aspheric mirrors. Applied Optics, 55, 619−625 (2016)
• N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Ion-beam polishing of fused silica substrates for imaging soft x-ray and extreme ultraviolet optics. Applied Optics 55, 1249−1256 (2016)
• M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, N. N. Salashchenko, M. V. Zorina. Application of point diffraction interferometry for middle spatial frequency roughness detection. Optics Letters 40, 159−162 (2015)
• М. В. Свечников, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, А. В. Щербаков. Двухкоординатный цифровой детектор для микроскопии в мягком рентгеновском диапазоне. Известия РАН. Серия физ. 78, 102−106 (2014)