Многослойные зеркала рентгеновского диапазона и устройства на их основе
 |
Создан научный центр «многослойной рентгеновской оптики» мирового уровня, в котором естественно сочетаются современные технологические методы изготовления, диагностики и метрологии характеристик элементов многослойной оптики, в том числе дифракционного качества, и оптических систем на их основе… подробнее >>> |
 |
Развиты технологии нанесения и методы диагностики многослойных структур для элементов многослойной оптики коротковолнового спектрального диапазона, λ=0.05−100 нм, включая оптику нормального падения (λ=2−100 нм), в том числе изображающую дифракционного качества. подробнее >>> |
 |
Создана лабораторная технология изготовления свободновисящих многослойных пленок (фильтры, защитные пленки, аноды микрофокусных рентгеновских трубок) для EUV литографии и рентгеновской астрономии… подробнее >>> |
 |
Для изготовления оптических систем дифракционного качества для коротковолнового (мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового) диапазона развиты методы бездеформационного монтажа элементов изображающей оптики дифракционного качества… подробнее >>> |
 |
Создан контактный рентгеновский микроскоп, обеспечивающий нанометровое пространственное разрешение при регистрации изображений на фоторезисте и субмикронное — при цифровой регистрации… подробнее >>> |
 |
Развиты технологии изготовления и методы аттестации многослойных формирователей жесткого рентгеновского излучения, включая фокусирующие (эллиптические) и коллимирующие (параболические) цилиндрические зеркала… подробнее >>> |
