Методы бездеформационного монтажа оптических элементов

Для изготовления оптических систем дифракционного качества для коротковолнового (мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового) диапазона развиты методы бездеформационного монтажа элементов изображающей оптики дифракционного качества. На основе развитых технологий нанесения градиентных многослойных структур с компенсацией стресса и методов бездеформационного монтажа создан стенд нанолитографии (λ = 13.5нм) с проектным разрешением 30 нм, что продемонстрировало появление в России технологий, позволяющих разрабатывать и производить в России современное литографическое оборудование, изготавливать оптические системы сверхвысокого пространственного разрешения для астрономии и микроскопии коротковолнового диапазона.

Публикации:

• Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Проект изготовления российского ЭУФ-нанолитографа для производства СБИС по технологическим нормам 22 нм. Известия РАН. Серия физическая 75, № 1, 49−53 (2011)
• Д. Г. Волгунов, И. Г. Забродин, Б. А. Закалов, С. Ю. Зуев, И. А. Каськов, Е. Б. Клюенков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Л. А. Суслов, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Стенд проекционного ЭУФ-нанолитографа-мультипликатора с расчетным разрешением 30 нм. Известия РАН. Серия физич. 75, № 1, 54−56 (2011)
• С. Ю. Зуев, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. С. Скрыль, И. Л. Струля, Л. А. Суслов, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Двухзеркальный проекционный объектив нанолитографа на 13,5 нм. Известия РАН. Сер. Физич. 75, № 1, 61−64 (2011)
• С. Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Л. А. Суслов, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики. Известия РАН. Серия физич. 75, № 1, 57−60 (2011)
• Д. Г. Волгунов, А. Е. Пестов, М.Н., Н. Н. Салащенко, Торопов, Н. И. Чхало. Формирование наноструктур на стенде ЭУФ литографа-мультипликатора. Первые результаты. Известия РАН. Сер. Физическая 77, № 1, 4−8 (2013)
• A.K. Akopov, M.N. Brychikhin, N.I. Chkhalo, Ya.O. Eikhorn, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, Yu.A. Plastinin, V.N. Polkovnikov, A.A. Rizvanov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.N. Toropov. Reflective Schmidt-Cassegrain system for high-aperture telescopes. Applied Optics 55, 4430- 4435 (2016)
• А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, Н. Н. Цыбин, А. В. Щербаков. Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм. Квант. электроника 46, № 4, c.347 — 352 (2016)
• I.V. Malyshev, N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, A.E. Pestov, S.V. Kuzin, and V.N. Polkovnikov. Deformation-free rim for the primary mirror of telescope having sub-second resolution. Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space, 102350C (2017)
• N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, S.N. Vdovichev, I.L. Strulya, Y.A. Plastinin, A.A. Rizvanov. Collimator based on a Schmidt camera mirror design and its application to the study of the wide-angle UV and VUV telescope. Journal of Astrono- mical Telescopes, Instruments, and Systems 4, 014003 (2018)