Технология свободновисящих многослойных пленок

Создана лабораторная технология изготовления свободновисящих многослойных пленок (фильтры, защитные пленки, аноды микрофокусных рентгеновских трубок) для EUV литографии и рентгеновской астрономии. В частности, разработаны и изготовлены термостойкие свободновисящие спектральные фильтры и элементы пленочной защиты маски для применений в стендах проекционной нанолитографии, свободновисящие фильтры для космических рентгеновских телескопов, впервые на основе пленочных фазовращателей для диапазона λ=1.5−4.5 нм изготовлены аналоги четверть-волновой пластинки в мягком рентгеновском диапазоне.

Публикации:

• С. С. Андреев, С. Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, К. А. Прохоров, Н. Н. Салащенко, Л. А. Суслов. Фильтры для экстремального ультрафиолетового диапазона на основе многослойных структур Zr/Si, Nb/Si, Mo/Si и Mo/C. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. № 2. 6−9 (2003)
• H. Kimura, T. Hirono, Y. Tamenori, Y. Saitoh, N. N. Salashchenko, and T. Ishikawa. Transmission type Sc/Cr multilayers as a quarter-wave plate for 398.6 eV. Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 144−147, 1079 (2005)
• С. С. Андреев, М. С. Бибишкин, Х. Кимура, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, К. А. Прохоров, Н. Н. Салащенко, Т. Хироно, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало. Поляризаторы и фазовращатели на основе многослойных зеркал и свободновисящих пленок для диапазона длин волн излучения 2.1 — 4.5 нм. Изв. Академии наук. Серия физическая 68, № 4, 565−568 (2004)
• S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, T. Hirono, H. Kimura, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin. Transmission type phase retarders based on free standing Cr/Sc multilayers. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A543, 340−345 (2005)
• Andreev S.S., Bibishkin M.S., Chkhalo N.I., Lopatin A.Ya., Luchin V.I., Pestov A.E., Prokhorov K.A., Salashchenko N.N. Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A543, 340−345 (2005)
• M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin. Multilayer Zr/Si filters for EUV lithography and for radiation source metrology. Proc. SPIE 7025, 702502 (2008)
• N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, M.N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, Influence of annealing on the structural and optical properties of thin multilayer EUV filters containing Zr, Mo and silicides of these metals. Proc. SPIE 7521, 752105 (2010)
• А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, А. П. Шевелько, О. Ф. Якушев. Новые фокусирующие многослойные структуры для рентгеновской и вакуумной ультрафиолетовой спектроскопии плазмы. ЖТФ 80, 105−110 (2010)
• N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, L.A. Sjmaenok, V.E. Banine, and A.M. Yakunin, Free-standing spectral purity filters for extreme ultraviolet lithography. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012)
• С. А. Гусев, М. Н. Дроздов, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Д. Е. Парьев, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, Л. А. Шмаенок. Термостабильность свободновисящих ЭУФ-фильтров в условиях длительного вакуумного отжига в интервале температур 700−1000°C. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. № 6. 1−5 (2012)
• Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин. Свободновисящие пленочные структуры для лазерно-плазменных экспериментов. Квантовая электроника 43, 388−391, (2013)
• Б. А. Володин, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, А. Ю. Лукьянов, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Л. А. Шмаенок. Высокопрозрачные свободновисящие пленки для защиты масок от загрязнений в установках проекционной ЭУФ-литографии. Известия РАН. Серия физическая. 78, 82−85 (2014)
• N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev. Thin film multilayer filters for solar EUV telescopes. Applied Optics. 55, 4683−4690 (2016)
• N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, a.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Sjmaenok, N.N. Tsybin. Study of Heat induced changes in elastic properties of multilayer Mo/ZrSi2 membranes. Thin Solid Films 631, 93−98 (2017)
• N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, S.Yu. Zuev, N.N. Tsybin. Improving the optical and mechanical characteristics of aluminum thin-film filters by adding thin cap layers. Thin Solid Films 653, 359−364 (2018)