Технологии многослойных структур коротковолнового спектрального диапазона

Развиты технологии нанесения и методы диагностики многослойных структур для элементов многослойной оптики коротковолнового спектрального диапазона, λ=0.05−100 нм, включая оптику нормального падения (λ=2−100 нм), в том числе изображающую дифракционного качества.

Публикации:

• A.D. Akhsakhalyan, N.N. Kolachevsky, M.M. Mitropolsky, E.M. Ragozin, N.N. Salashchenko, V.A. Slemzin. Fabrication and Investigation of imaging Normal-Incidennce Multilayer Mirrors with a Narrov-Band Reflection in the Range 4,5 nm. Physica Scripta 48, 516−520 (1993)
• E.N. Ragozin, N.N. Kolachevsky, M.M. Mitropolsky, V.A. Slemzin, N.N. Salashchenko. Characterization of imaginy normal-incidence multilayer mirrors for the 40−300 A range by spectroscopie technigues using a laser-plasma radiation sourse. Proc. SPIE 2012, pp.209−218 (1993)
• Yu.Ya. Platonov, S.V. Bobashev, N.N. Salashchenko, D.M. Simanovsky, L.A. Shmaenok, S.Yu. Zuev. Multilayer mirrors and filters for soft x-ray spectroscopy of high-temperature plasma. Proc. SPIE 2011, pp.476−488 (1994)
• N.N. Salashchenko, S.V. Gaponov, A.D. Akhsakhalyan, S.S. Andreev, Yu.Ya. Platonov, N.I. Polushkin, E.A. Shamov, S.I. Shinkarev, S.Yu. Zuev. Normal incidence imaging multilayer X-ray mirrors with the periods of nanometer and subnanometer scale. Proc. SPIE 2011, p.402−412 (1994)
• S.I. Zheludeva, M.V. Kovalchuk, N.N. Novikova, A.N. Sosphenov, N.E. Malysheva, N.N. Salashchenko, A.D. Akhsakhalyan, Yu.Ya. Platonov. X-Ray Wavegnide structures comprised of Thin Metal-Carbon Layers. J. de Physique III, 1994, pp.1581−1587. V.A. Slemzin, I.A. Zhitnik, E.N. Ragozin, S.S. Andreev, N.N. Salashchenko, Yu.Ya. Platonov. Aspherical imaging multilayer mirrors with sub-areseconnd resolution for solar XUV-telescope. Proc. SPIE 2279, p.234 (1994)
• N.N. Salashchenko, Yu.Ya. Platonov, S.Yu. Zuev. Multilayer x-ray optics for synchrotron radiation. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A359, p.114−120 (1995)
• И. И. Собельман, Э. А. Аветисян, И. А. Житник, А. П. Игнатьев, В. В. Корнеев, В. В. Крутов, Н. Н. Салащенко, С. В. Кузин, В. М. Ломкова, А. В. Митрофанов, С. П. Опарин, А. А. Перцов, В. А. Слемзин, В. Ф. Суханов, И. П. Тиндо, Ю. В. Фотин. Рентгеновская спектроскопия солнца в диапазоне 0.84−30.4 нм в экспериментах ТЕРЕК-К и РЕС-К на спутнике КОРОНАС-И. Письма в астрономический журнал 22, в.8, с. 604−619 (1996)
• N.N. Salashchenko, E.A. Shamov. Short — period X — ray multilayers based on Cr/Sc. Optics communication, 134, p.7−10 (1997)
• А. В. Андреев, Ю. В. Пономарев, И. Р. Прудников, Н. Н. Салащенко. Резонансное усиление диффузного рассеяния рентгеновских лучей в гетероструктуре волноводного типа. Письма в ЖЭТФ, 66, с. 219−223 (1997)
• S.I. Zheludeva, M.V. Kovalchuk, N.N. Novikova, A.N. Sosphenov, N.N. Salashchenko, E.A. Shamov, K.A. Prokhorov, E. Burattini, G. Cappuccio. X-ray standing waves in x-ray specular reflection and fluorescence study of nano-films. J. Appl. Crystal. 30, p. 833−838 (1997)
• S.S. Andreev, S.V. Gaponov, N.N.Salashchenko, E.A. Shamov, L.A. Shmaenok, S.V. Bobashev, D.M. Simanovskii, E.A. Ragozin. Multilayer optics for x-ray and x-radiation. Proc. SPIE 3406, 45−69 (1998)
• F. Schäfers, H.-C. Mertins, F. Schmolla, I. Packe, N.N. Salashchenko, and E.A. Shamov. Cr/Sc multilayers for the soft-x-ray range. Applied Optics, V. 37, Iss. 4, p. 719−728 (1998)
• N.N. Salashchenko, A.A. Fraerman, S.V. Mitenin, K.A. Prokhorov, E.A. Shamov. Short-period X-ray multilayers based on Cr/Sc, W/Sc. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A 405, 292−296 (1998)
• A.V. Andreev, Yu.V. Ponomarev, I.R. Prudnikov, N.N. Salashchenko. X-ray diffuse scattering multilayer wevequide structures. Phys. Rev. B, 57, p.13113−13117 (1998)
• S.S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu.Ya. Platonov, N.N. Salashchenko, F. Schaefers, E.A. Shamov, L.A. Shmaenok. Multilayer dispersion optics for X-ray radiation. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A448, 133−141 (2000)
• S.S. Andreev, N.N. Salashchenko, L.A. Suslov, A.N. Yablonsky and S.Yu. Zuev. Stress reduction of Mo/Si multilayer structures. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A470, pp. 162 -167 (2001)
• F. Shaefers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, N.N. Salashchenko. Cr/Sc nanolayers for the water window: improved performance. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A467, 349−353 (2001)
• S.S. Andreev, A.D. Akhsakhalyan, M.A. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S. V Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N.Salashchenko, F. Schäfers, S.Yu. Zuev. Multilayer optics for XUV spectral region: technology fabrication and applications. Centr. Europ. Journ. of Phys. No1, p.191−209 (2003)
• S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina, F. Schafers and L.A. Shmaenok. Short — period multilayer X — ray mirrors. Journal of Synchrotron Radiation 10, 358−360 (2003). S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, T. Hirono, H. Kimura, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin. Transmission type phase retarders based on free standing Cr/Sc multilayers. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A543, 340−345 (2005)
• M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer. Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A543, 333−339 (2005)
• Ю. А. Вайнер, А. Е. Пестов, К. А. Прохоров, Н. Н. Салащенко, А. А. Фраерман, В. В. Чернов, Н. И. Чхало. Исследование поперечной корреляции шероховатостей границ в многослойных структурах с ульра-короткими периодами. ЖЭТФ 130, № 3, с. 401−408 (2006)
• Вайнер Ю. А., Клюенков Е. Б., Пестов А. Е., Прохоров К. А., Салащенко Н. Н., Фраерман А. А., Чернов В. В., Чхало Н. И. Многослойные рентгеновские зеркала на основе W/B4C с ультракороткими (d = 0.7 — 1.5 нм) периодами. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. N1, 10−16 (2007)
• N.I. Chkhalo, S. Künstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schäfers, S.D. Starikov. High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography. Applied Physics Letters 102, 011602 (2013)
• S. A. Bogachev, N. I. Chkhalo, S. V. Kuzin, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, S. V. Shestov, S. Y. Zuev. Advanced materials for multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar astronomy. Applied Optics 55, 2126−2135 (2016)
• С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, И. А. Каськов, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало. Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 — 50 нм: описание и результаты тестирования. Квантовая электроника 47, 385−392 (2017)
• N.I. Chkhalo, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. A. Shaposhnikov, I. L. Stroulea, M. V. Svechnikov, Yu. A. Vainer, S. Yu. Zuev. Be/Al-based multilayer mirrors with improved reflection and spectral selectivity for solar astronomy above 17 nm wavelength. Thin Solid Films 631, 106−111 (2017)
• N.I. Chkhalo, S. A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schäfers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov, D.A. Tatarsky. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography. Opt. Lett. 42, 5070−5073 (2017)
• N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Deposition and investigation of Mo/Si multilayers onto MEMS of micromirrors intended for EUV mask-less lithography. J. Vac. Sci. Technol. B, 35, 062002 (2017)
• M. Svechnikov, D. Pariev, A. Nechay, N. Chkhalo, N.N. Salashchenko, Y. Vainer and D. Gaman. Extended model for the reconstruction of periodic multilayers from extreme ultraviolet and X-ray reflectivity data. J. of Applied Crystallography 50, 1428−1440 (2017)