Создан научный центр «многослойной рентгеновской оптики»

Создан научный центр «многослойной рентгеновской оптики» мирового уровня, в котором естественно сочетаются современные технологические методы изготовления, диагностики и метрологии характеристик элементов многослойной оптики, в том числе дифракционного качества, и оптических систем на их основе. Развиты технологии и создан комплекс технологического оборудования для нанесения многослойных структур из сверхтонких пленок для элементов многослойной оптики рентгеновского и ЭУФ диапазонов с заданным распределением периода по поверхности подложек с диаметром до 350 мм при практически любой форме поверхности. Создан технологически-измерительный КОМПЛЕКС для изготовления и аттестации элементов оптики с субнанометровым отклонением формы поверхности от заданной и оптических систем с аберрацией волнового фронта на субнанометровом уровне. Метрологической основой комплекса является разработанный в ИФМ РАН интерферометр с дифракционной волной сравнения, обеспечивающий аттестацию формы светосильных оптических элементов и волновые деформации сложных систем с точностью на уровне 0.2−0.3нм. Развиты физические основы методов и созданы стенды коррекции формы и суперполировки оптических поверхностей с субнанометровой точностью.

Публикации:

• S.S. Andreev, A.D. Akhsakhalyan, M.A. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S. V Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N.Salashchenko, F. Schäfers, S.Yu. Zuev. Multilayer optics for XUV spectral region: technology fabrication and applications. Centr. Europ. Journ. of Phys. (Open Physics) 1, p.191−209 (2003)
• Bibishkin M.S., Chekhonadskih D.P., Chkhalo N.I., Klyuenkov E.B., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Shmaenok L.A., Zabrodin I.G., Zuev S.Yu. Laboratory methods for investigation of multilayer mirrors in Extreme Ultraviolet and Soft X-Ray region, in: Micro- and Nanoelectronics 2003, edited by K.A. Valiev, A.A. Orlikovsky; Proceedings of SPIE 5401, p.8−15 (2004)
• A.A. Akhsakhalyan, A.D. Akhsakhalyan, A.I. Kharitonov, E.B. Kluenkov, V.A. Murav’ev, N.N. Salashchenko. Multilayer mirror systems to form hard X-ray beams. Central European Journal of Physics (Open Physics) 3 (2), 163−177 (2005)
• N.I. Chkhalo, A.Yu. Klimov, V.V. Rogov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. A source of a reference spherical wave based on a single mode optical fiber with a narrowed exit aperture. Rev. Sci. Instrum. 79, 033107 (2008)
• Е. Б. Клюенков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы. Известия РАН. Серия физическая 72 205−208 (2008)
• Е. Б. Клюенков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Д. Г. Раскин, М. Н. Торопов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью. Российские нанотехнологии 3, № 9 -10, 90−98 (2008)
• Е. Б. Клюенков, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Работы по созданию и аттестации рентгенооптических элементов и систем сверхвысокого разрешения в ИФМ РАН. Известия РАН. Серия физическая 73, 66−70 (2009)
• N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Manufacturing of diffraction quality optical elements for high resolution optical systems. Proc. of SPIE 7521, 752104 (2010)
• Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Физические ограничения точности измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения. Известия РАН. Серия физическая74, 62−65 (2010)
• N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, N.N., Salashchenko, M.N. Toropov. Manufacturing and Investigating Objective Lens for Ultrahigh Resolution Lithography Facilities. In: Lithography, Michael Wang (Ed.), INTECH, 2010, pp. 656, (p. 71−114), ISBN: 978−953−307−064−3. С. Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Л. А. Суслов, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики. Известия РАН. Серия физическая 75, с. 57−60 (2011)
• N.I. Chkhalo, M.M. Barysheva, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Manufacturing and characterization the diffraction quality normal incidence optics for the XEUV range. Proc. of SPIE. V. 8076. Р. 80760P-1−13. 2011. М. М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало. Прецизионная изображающая оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов. УФН 182, № 7, с. 727−747 (2012)
• M.M.Barysheva, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, M.V. Zorina. Mirrors with a Sub-Nanometer Surface Shape Accuracy. Fundamentals of Picoscience, Klaus D. Sattler (Ed.), Taylor & Francis Group, CRC Press, 2013, pр. 595−615, ISBN: 978−1−4665−0509−4. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. A stand on the basis of atomic force microscope to study substrates for imaging optics. Rev. Sci. Instrum. 86, 016102 (2015)
• N. I. Chkhalo, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, A.A. Soloviev. Problems in the application of a null lens for precise measurements of aspheric mirrors. Appl. Opt. 55, 619−625 (2016)
• N.I. Chkhalo, V. Polkovnikov, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. High-performance facility and techniques for high-precision machining of optical components by ion beams. Precision Engineering 48, 338−346 (2017)
• А. Д. Ахсахалян, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, М. Н. Торопов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков Состояние дел и перспективы развития многослойной рентгеновской оптики в ИФМ РАН. Поверхность. Рентген., синхротронные и нейтрон. исследования, 2017, № 1, с. 5−24.