Цыбин Николай Николаевич

Цыбин Николай Николаевич

Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона (4,6 Мбайт) (размещена 19 марта 2015)
01.04.01 — приборы и методы экспериментальной физики.

Диссертация принята к защите 16 апреля 2015 г., защита диссертации состоялась 25 июня 2015 г. в 14:00 (протокол № 7). Заключение диссертационного совета (1,2 Мбайт) (размещено 29.06.15)

Приказ о выдаче диплома (23,2 Мбайт)

Объявление на сайте ВАК (опубликовано 17.04.15)

Автореферат (1,7 Мбайт) (размещен 17.04.15)

Отзыв научного руководителя (1,2 Мбайт)

Отзыв В. А. Бушуева (6,1 Мбайт)

Отзыв Г. В. Кулипанова (970 Kбайт)

Отзыв В. И. Пунегова (1 Мбайт)

Отзыв Д. В. Рощупкина (1,3 Мбайт)

Отзыв А. П. Шевелько (1 Мбайт)

Оппоненты

Водопьянов Александр Валентинович — кандидат физ.-мат. наук, зав. лаб. прикладной физики плазмы Института прикладной физики РАН

Отзыв оппонента (3,5 Мбайт) (размещен 15.06.15)

Наименования отрасли науки, научной специальности, по которым оппонентом защищена диссертация:
Физико-математические науки, 01.04.08 — физика плазмы

Список основных публикаций официального оппонента по теме диссертации в рецензируемых научных изданиях за последние 5 лет:

• Vodopyanov A.V., Golubev S.V., Mansfeld D.A., Salashchenko N.N., Chkhalo N.I. An extreme ultraviolet radiation source based on plasma heated by millimeter range radiation // Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. Т. 75. № 1. С. 64−66 (2011).
• Chkhalo N.I., Golubev S.V., Mansfeld D., Salashchenko N.N.; Sjmaenok L.A., Vodopyanov A.V. Source for extreme ultraviolet lithography based on plasma sustained by millimeter-wave gyrotron radiation // J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS. 11 (2). 021123 (2012).
• Sennikov P.G., Vodopyanov A.V., Golubev S.V., Mansfeld D.A., Drozdov M.N., Drozdov Yu N., Andreev B.A.et al. «Towards 0.9999928Si.» Solid State Communications. V.152. № 6. P.455−457 (2012).
• Shalashov A.G., Golubev S.V., Gospodchikov E.D., Mansfeld D.A., Viktorov M.E., Vodopyanov A.V. Generation of wideband electromagnetic radiation on a decay stage of a mirror-confined plasma produced by ECR discharge // Problems of Atomic Science and Technology. V. 83. № 1. P. 111−113. (2013).
• Mansfelda D.А., Vodopyanov А.V., Golubev S.V., Sennikova P.G., Mochalov L.A. Andreev B.А., Drozdov Yu N., Drozdov М.N., Shashkin V.I., Bulkine P., Roca i Cabarrocas P. Deposition of microcrystalline silicon in electron-cyclotron resonance discharge (24 GHz) plasma from silicon tetrafluoride precursor // Thin Solid Films. V.562. P.114−117 (2014).

Кузин Сергей Вадимович — доктор физ-мат наук, зав. лаб. ренгеновской астрономии Солнца Физического института им. П. Н. Лебедева РАН

Отзыв оппонента (2,4 Мбайт) (размещен 15.06.15)

Наименования отрасли науки, научной специальности, по которым оппонентом защищена диссертация:
Физико-математические науки, 01.03.02 — астрофизика и звездная астрономия.

Список основных публикаций официального оппонента по теме диссертации в рецензируемых научных изданиях за последние 5 лет:

1. S. V. Kuzin, S. A. Bogachev, I. A. Zhitnik, S. V. Shestov, V. A. Slemzin, A.V. Mitrofanov, N. K. Sukhodrev, A. A. Pertsov, A. V. Ignat’ev, O. I. Bugaenko, Yu. S. Ivanov, A. A. Reva, M. S. Zyikov, A. S. Ul’yanov, S. N. Oparin, A. L. Goncharov, T. A. Shergina, A. M. Urnov, V. A. Solovyev, and S. G. Popova. The TESIS Solar Imaging Spectroscopy Experiment on Board the CORONAS-Photon Satellite. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics, 2010, Vol. 74, No. 1, pp. 33−37.
2. A. S. Ulyanov, S. A. Bogachev and S. V. Kuzin. Bright points and ejections observed on the sun by the KORONAS-FOTON instrument TESIS. Astronomy Reports, 2010, Vol. 54, No. 10, pp. 948−957.
3. S. V. Shestov, S. V. Kuzin, A. M. Urnov, A. S. Ulyanov, S. A. Bogachev. Diagnostics of the temperature for solar plasma in flares and active regions by the spectral lines of EUV range 280−330 Å in the SPIRIT experimenton CORONAS-F. Astronomy Letters, 2010, Vol. 36, No 1, pp. 44−58.
4. С. В. Кузин, С. А. Богачев, А. А. Перцов, С. В. Шестов, А. А. Рева, А. С. Ульянов. Исследование солнечной короны со сверхвысоким пространственным разрешением в проекте «АРКА». Известия РАН. Серия физическая, 2011, том 75, № 1, с. 91−94.
5. V. D. Kuznetsov, I. I. Sobelman, I. A. Zhitnik, S. V. Kuzin, Yu. D. Kotov, Yu. E. Charikov, S. N. Kuznetsov, E. P. Mazets, A. A. Nusinov, A. M. Pankov, J. Sylwester. Results of solar observations by the CORONAS-F payload. Advances in Space Research, 2011, Vol. 47, pp. 1538−1543.
6. S. V. Kuzin, I. A. Zhitnik, S. V. Shestov, S. A. Bogachev, O. I. Bugaenko, A. P. Ignat’ev, A. A. Pertsov, A. S. Ul’yanov, A. A. Reva, V. A. Slemzin, N. K. Suhodrev. The TESIS Experiment on the CORONAS-PHOTON spacecraft. Solar System Research, 2011, Vol. 45, No. 2, pp. 162−173.
7. S. V. Kuzin, S. V. Shestov, S. A. Bogachev, A. A. Pertsov, A. S. Ul’yanov, A. A. Reva. Processing method of images obtained during the TESIS/CORONAS-PHOTON experiment. Solar System Research, 2011, Vol. 45, No. 2, pp. 174−181.
8. P. Testa, B. De Pontieu, J. Martínez-Sykora, E. DeLuca, V. Hansteen, J. Cirtain, A. Winebarger, L. Golub, K. Kobayashi, K. Korreck, S. Kuzin, R. Walsh, C. DeForest, A. Title, and M. Weber. Observing coronal nanoflares in active region moss. Astrophysical Journal Letters, 2013, Vol. 770, Issue 1, L1 (7pp).
9. K. Kobayashi, J. Cirtain, A. R. Winebarger, K. Korreck, L. Golub, R. W. Walsh, B. De Pontieu, C. DeForest, A. Title, S. Kuzin, S. Savage, D. Beabout, B. Beabout, W. Podgorski, D. Caldwell, K. McCracken, M. Ordway, H. Bergner, R. Gates, S. McKillop, P. Cheimets, S. Platt, N. Mitchell, D. Windt. The High-Resolution Coronal Imager (Hi-C). Solar Physics, Vol. 289, Issue 11, pp.4393−4412.
10. S. Shestov, A. Reva and S. Kuzin. EUV spectra of solar flares from the EUV spectroheliograph SPIRIT aboard CORONAS-F satellite. The Astrophysical Journal, 2014, Vol. 780, pp. 15−31.

Ведущая организация

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт спектроскопии Российской академии наук (сокращенное название: ИСАН)

Отзыв ведущей организации (310 Kбайт) (размещен 15.06.15)

Электронный адрес администрации института: isan@isan.troitsk.ru

142190 г. Москва, г. Троицк ул. Физическая, 5

Публикации Института спектроскопии РАН по теме диссертации

1. V.V. Medvedev, A.E. Yakshin, R.W.E. van de Kruijs, V.M. Krivtsun, A.M. Yakunin, K.N. Koshelev, F. Bijkerk, «Infrared suppression by hybrid EUV multilayer — IR ethalon structures," Optics Letters, Vol. 36, Issue 17, pp. 3344−3346 (2011)
2. V. Y. Banine, K. N. Koshelev, and G. H. P. M. Swinkels, «Physical processes in EUV sources for microlithography," Journal of Physics D: Applied Physics, Vol. 44, Issue 25, pp. 253001 (2011)
3. V.V. Medvedev, A.E. Yakshin, R.W.E. van de Kruijs, V.M. Krivtsun, A.M. Yakunin, K.N. Koshelev, F. Bijkerk, «Infrared antireflective filtering for extreme ultraviolet multilayer Bragg reflectors," Optics Letters, Vol. 37, Issue 7, pp. 1169−1171 (2012)
4. K. Koshelev, V. Krivtsun, V. Ivanov, O. Yakushev, A. Chekmarev, V. Koloshnikov, E. Snegirev, and V. Medvedev, «New type of discharge-produced plasma source for extreme ultraviolet based on liquid tin jet electrodes," J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS Vol. 11, Issue 2, pp. 021103 (2012)
5. V.V. Medvedev, A.J.R. van den Boogaard, R. van der Meer, A.E. Yakshin, E. Louis, V.M. Krivtsun, F. Bijkerk, «Infrared diffractive filtering for extreme ultraviolet multilayer Bragg reflectors," Optics Express, Vol. 21, Issue 14, pp. 16964−16974 (2013)
6. V.V. Medvedev, R.W.E. van de Kruijs, A.E. Yakshin, N.N. Novikova, V.M. Krivtsun, E. Louis, A.M. Yakunin, F. Bijkerk, «Multilayer mirror with enhanced spectral selectivity for the next generation extreme ultraviolet lithography» Appl. Phys. Lett. Vol.103, pp. 221114 (2013)
7. A. Dolgov, D. Lopaev, T. Rachimova, A. Kovalev, A. Vasil’eva, C. J. Lee, V. M. Krivtsun, O. Yakushev, and F. Bijkerk, «Comparison of H2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas," Journal of Physics D: Applied Physics Vol.47, Issue 14, pp. 065205 (2014)
8. V.V. Medvedev, A.E. Yakshin, R.W.E. van de Kruijs, F. Bijkerk, «Phosphorus-based compounds for EUV multilayer optics materials» Optical Materials Express, Vol. 5, Issue 6, pp. 1450−1459 (2015)
9. A. Dolgov, O. Yakushev, A. Abrikosov, E. Snegirev, V. M. Krivtsun, C. J. Lee, and F. Bijkerk, «Extreme ultraviolet (EUV) source and ultra-high vacuum chamber for studying EUV-induced processes," Plasma Sources Science and Technology Vol.24, pp. 035003 (2015)