Волков Петр Витальевич

Заведующий лабораторией прецизионной оптической диагностики отдела технологии наноструктур и приборов, к. ф.-м. н.

Награжден медалью РАН 2010 года для молодых ученых РАН в области разработки или создания приборов, методик, технологий и новой научно-технической продукции научного и прикладного значения.

Персональные данные

Родился 01 августа 1979 г. в г. Дзержинск, Горьковской обл.

Научные интересы

Прикладная оптика, оптическое приборостроение, интерферометрия, оптический мониторинг.

Образование

Школа

Средняя школа № 33 г. Дзержинска, Нижегородской обл.

ВУЗ

Радиофизический факультет ННГУ.

Профессиональная карьера

• 2000 — 2001 — старший лаборант-исследователь ИФМ РАН
• 2001 — 2004 — аспирант ИФМ РАН;
• 2001 — 2007 — младший научный сотрудник ИФМ РАН;
• 2007 — 2010 — ведущий электроник ИФМ РАН;
• 2009 — кандидат физико-математических наук (диссертация «Развитие интерференционных и поляризационных методов измерения физических параметров твердых тел»);
• 2010 — 2015 — научный сотрудник ИФМ РАН;
• 2015 — н.в. — заведующий лабораторией ИФМ РАН;

Избранные публикации

• Обратный эффект Фарадея в анизотропных средах / П. В. Волков, М. А. Новиков // Кристаллография. — 2002. ‑ т.47. Вып.5. ‑ С.888−892.
• Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии / В. В. Кононенко, В. И. Конов, С. М. Пименов, П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. В. Иванов, М. А. Новиков, В. А. Маркелов, А. Д. Тертышник, С. С. Уставщиков // Квантовая Электроника. — 2005. ‑ Т.35. Вып.7. ‑ С. 622−626.
• Поляризационные трансформаторы анизотропии. I. Невзаимные оптические системы и теорема эквивалентности / П. В. Волков, М. А. Новиков // Оптика и спектроскопия. — 2006. ‑ т.100. Вып.5.‑ С. 864−867.
• Поляризационные трансформаторы анизотропии. II. Преобразование свойств оптической анизотропии взаимных и невзаимных элементов / П. В. Волков, Новиков М. А. // Оптика и спектроскопия. — 2006. ‑ т.100. Вып.5. ‑ С.868−871.
• Multichannel temperature sensing by differential coherence multiplexing / V.V. Ivanov, V.A. Markelov, M.A. Novikov, S.S. Ustavshikov, P.V. Volkov, I.-B. Kwon // IEEE Sensors Journal. — 2006. V.6. ‑ P. 982 — 985.
• Автоматизированная многоканальная система технологического контроля толщины ленты флоат-стекла в режиме реального времени в горячей зоне печи отжига / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, А. Д. Тертышник // Стекло и керамика. — 2008. — Вып.5. ‑ С.8−11.
• Novel technique for monitoring of MOVPE processes / P.V. Volkov, A.V. Goryunov, V.M. Daniltsev, A.Yu. Luk’yanov, D.A. Pryakhin, A.D. Tertyshnik, O.I. Khrykin, V.I. Shashkin // Journal of Crystal Growth. — 2008. V. 310. ‑ P. 4724−4726.
• Оптический мониторинг температуры подложки и скорости травления многослойных структур при плазмохимическом травлении / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, Д. А. Пряхин, А. Д. Тертышник, В. И. Шашкин // Микроэлектроника. — 2011. — Т.40. Вып.5. — С.331−338.
• Fiber-optic temperature sensor based on low-coherence interferometry without scanning / P.V. Volkov, A.V. Goryunov, A.Yu. Luk’yanov, A.D. Tertyshnik, N.A. Baidakova, I.A. Luk’yanov // Optik. ‑ 2013. V.124. — P. 1982- 1985.
• Экспериментальное исследование матрицы детекторов системы радиовидения 3-mm диапазона длин волн / В. И. Шашкин, Ю. И. Белов, П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. Р. Закамов, И. А. Илларионов // Письма в ЖТФ. — 2013. — Т. 39. — Вып. 12. — С. 44−49.
• Real-time measurement of substrate temperature in molecular beam epitaxy using low-coherence tandem interferometry / D.V. Yurasov, A.Yu.Luk'yanov, P.V.Volkov, A.V.Goryunov, A.D.Tertyshnik, M.N. Drozdov, A.V.Novikov // Journal of Crystal Growth 413 (2015) 42−45
• Перспективы применения метода тандемной низкокогерентной интерферометрии для измерения формы асферических поверхностей / А. А. Ахсахалян, А. Д. Ахсахалян, П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, Л. А. Суслов, А. Д. Тертышник // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2015, № 8, с. 1−4
• Continuous monitoring of temperature and rate of plasma etching of semiconductor wafers / P. V. Volkov, A. V. Goryunov, A. Yu. Lukyanov, A. I. Okhapkin, A. D. Tertyshnik, V. V. Travkin and P. A. Yunin. // Appl. Phys. Lett. 107, 111601 (2015)
• Features of SOI substrates heating in MBE growth process obtained by low-coherence tandem interferometry / P.V.Volkov, А.V. Goryunov, D.N.Lobanov, А.Yu.Luk'yanov, А.V. Novikov, А.D. Tertyshnik, М.V. Shaleev, D.V.Yurasov // Journal of Crystal Growth 448 (2016)89−92
• Synthesis of single crystal diamond by microwave plasma assisted chemical vapor deposition with in situ low-coherence interferometric control of growth rate / E.V. Bushuev, V.Yu. Yurov, A.P. Bolshakov, V.G. Ralchenko, E.E. Ashkinazi, A.V. Ryabova, I.A. Antonova, P.V. Volkov, A.V. Goryunov, A.Yu. Luk’yanov // Diamond & Related Materials 66 (2016) 83−89

Патенты

• Интерферометрическое измерительное устройство (варианты) / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Д. Тертышник, Патент RU2307318С1 (2007).
• Интерферометрический способ измерения толщины и показателя преломления прозрачных объектов / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Д. Тертышник, Патент RU2313066C1 (2007).

Контактная информация

Тел.: (831) 417−94−91 +209

E-mail: volkov@ipmras.ru

1. Обратный эффект Фарадея в анизотропных средах / П. В. Волков, М. А. Новиков // Кристаллография. — 2002. ‑ т.47. Вып.5. ‑ С.888−892.

2. Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии / В. В. Кононенко, В. И. Конов, С. М. Пименов, П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. В. Иванов, М. А. Новиков, В. А. Маркелов, А. Д. Тертышник, С. С. Уставщиков // Квантовая Электроника. — 2005. ‑ Т.35. Вып.7. ‑ С. 622−626.

3. Поляризационные трансформаторы анизотропии. I. Невзаимные оптические системы и теорема эквивалентности / П. В. Волков, М. А. Новиков // Оптика и спектроскопия. — 2006. ‑ т.100. Вып.5.‑ С. 864−867.

4. Поляризационные трансформаторы анизотропии. II. Преобразование свойств оптической анизотропии взаимных и невзаимных элементов / П. В. Волков, Новиков М. А. // Оптика и спектроскопия. — 2006. ‑ т.100. Вып.5. ‑ С.868−871.

5. Multichannel temperature sensing by differential coherence multiplexing / V.V. Ivanov, V.A. Markelov, M.A. Novikov, S.S. Ustavshikov, P.V. Volkov, I.-B. Kwon // IEEE Sensors Journal. — 2006. V.6. ‑ P. 982 — 985.

6. Автоматизированная многоканальная система технологического контроля толщины ленты флоат-стекла в режиме реального времени в горячей зоне печи отжига / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, А. Д. Тертышник // Стекло и керамика. — 2008. — Вып.5. ‑ С.8−11.

7. Novel technique for monitoring of MOVPE processes / P.V. Volkov, A.V. Goryunov, V.M. Daniltsev, A.Yu. Luk’yanov, D.A. Pryakhin, A.D. Tertyshnik, O.I. Khrykin, V.I. Shashkin // Journal of Crystal Growth. — 2008. V. 310. ‑ P. 4724−4726.

8. Оптический мониторинг температуры подложки и скорости травления многослойных структур при плазмохимическом травлении / П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, Д. А. Пряхин, А. Д. Тертышник, В. И. Шашкин // Микроэлектроника. — 2011. — Т.40. Вып.5. — С.331−338.

9. Fiber-optic temperature sensor based on low-coherence interferometry without scanning / P.V. Volkov, A.V. Goryunov, A.Yu. Luk’yanov, A.D. Tertyshnik, N.A. Baidakova, I.A. Luk’yanov // Optik. ‑ 2013. V.124. — P. 1982- 1985.

10. Экспериментальное исследование матрицы детекторов системы радиовидения 3-mm диапазона длин волн / В.И. Шашкин, Ю. И. Белов, П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. Р. Закамов, И. А. Илларионов // Письма в ЖТФ. — 2013. — Т. 39. — Вып. 12. — С. 44−49.

11. Real-time measurement of substrate temperature in molecular beam epitaxy using low-coherence tandem interferometry / D.V. Yurasov, A.Yu.Luk'yanov, P.V.Volkov, A.V.Goryunov, A.D.Tertyshnik, M.N. Drozdov, A.V.Novikov // Journal of Crystal Growth 413 (2015) 42−45

12. Перспективы применения метода тандемной низкокогерентной интерферометрии для измерения формы асферических поверхностей / А. А. Ахсахалян, А. Д. Ахсахалян, П. В. Волков, А. В. Горюнов, А. Ю. Лукьянов, Л. А. Суслов, А. Д. Тертышник // ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ, 2015, № 8, с. 1−4

13. Continuous monitoring of temperature and rate of plasma etching of semiconductor wafers / P. V. Volkov, A. V. Goryunov, A. Yu. Lukyanov, A. I. Okhapkin, A. D. Tertyshnik, V. V. Travkin and P. A. Yunin. // Appl. Phys. Lett.107, 111601 (2015)

14. Features of SOI substrates heating in MBE growth process obtained by low-coherence tandem interferometry / P.V.Volkov, А.V. Goryunov, D.N.Lobanov, А.Yu.Luk'yanov, А.V. Novikov, А.D. Tertyshnik, М.V. Shaleev, D.V.Yurasov // Journal of Crystal Growth 448 (2016)89−92

15. . Synthesis of single crystal diamond by microwave plasma assisted chemical vapor deposition with in situ low-coherence interferometric control of growth rate / E.V. Bushuev, V.Yu. Yurov, A.P. Bolshakov, V.G. Ralchenko, E.E. Ashkinazi, A.V. Ryabova, I.A. Antonova, P.V. Volkov, A.V. Goryunov, A.Yu. Luk’yanov // Diamond & Related Materials 66 (2016) 83−89