Клюенков Евгений Борисович

с.н.с. отд 130, к. ф.-м. н., член ученого совета ИФМ РАН.

Персональные данные

Родился 4 марта 1953 В г. Горьком.

Область научных интересов

Физика тонких пленок; технология многослойной «рентгеновской оптики»; научное приборостроение.

Сфера научной деятельности включает: развитие технологии получения многослойных структур для рентгеновской оптики; изучение физических процессов в многослойных структурах на основе сверхтонких металлических слоев; разработку и изготовление автоматизированных установок магнетронного напыления многослойных рентгенооптических покрытий; разработку технологии изготовления фокусирующих (эллиптических и параболических) элементов «рентгеновской оптики»; разработку и исследование многослойных тонкопленочных фильтров со сверхвысокой прозрачностью в области мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения; разработку и изготовление стендов для диагностики многослойных структур, для контроля и коррекции формы поверхности рентгенооптических элементов с субнанометровой точностью, проекционной рентгеновской нанолитографии.

Некоторые публикации

1. S.S. Andreev, A. D. Akhsakhalyan, M. A. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. V. Gaponov, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, S. Yu. Zuev. Multilayer optics for XUV spectral region: technology fabrication and applications. Centr. Europ. Journ. of Phys. 2003. 1, p.191−209.
2. С.С. Андреев, М. С. Бибишкин, Х. Кимура, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, К. А. Прохоров, Н. Н. Салащенко, Т. Хироно, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало. Поляризаторы и фазовращатели на основе многослойных зеркал и свободно висящих пленок для диапазона длин волн излучения 2.1 — 4.5 нм. // Изв. Академии наук. Серия физическая. 2004. т. 68, № 4, с. 565−568.
3. A.A. Akhsakhalyan, A. D. Akhsakhalyan, A. I. Kharitonov, E. B. Kluenkov, V. A. Murav’ev, N. N. Salashchenko. Multilayer mirror systems to form hard X-ray beams. // Central European Journal of Physics 3 (2) 2005 163−177.
4. С. С. Андреев, М. С. Бибишкин, H. Kimura, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, К. А. Прохоров, Н. Н. Салащенко, T. Hirono, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало. Фазовращатели на основе свободновисящих многослойных структур Cr/Sc // Известия Академии наук. Серия физическая. 2005. Т. 69. № 2, 207−210.
5. М.С. Бибишкин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Д. П. Чехонадских, Н. И. Чхало. Рефлектометр с модернизированной оптической схемой для исследования элементов рентгенооптики в диапазоне 0,6−20 нм. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 2, с. 23−27, (2005)
6. Забродин И. Г., Закалов Б. А., Зуев С. Ю., Каськов И. А., Клюенков Е. Б., Лопатин А. Я., Салащенко Н. Н., Суслов Л. А., Пестов А. Е., Чхало Н. И. Абсолютно калиброванный измеритель ЭУФ мощности для аттестации источников излучения на 13,5 нм. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. № 6. 2007. С. 104−107.
7. Климов А. Ю., Клюенков Е. Б., Мизинов А. Л., Полковников В. Н., Салащенко Н. Н., Чхало Н. И. Экспериментальные исследования возможностей интерферометра с дифракционной волной сравнения для контроля формы оптических элементов. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. № 6. 2007. С. 99−103.
8. Е.Б. Клюенков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Коррекция формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью. Проблемы, статус, перспективы.// Известия академии наук. Серия физическая. 2008, т. 72, № 2, 205−208.
9. Е.Б. Клюенков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Д. Г. Раскин, М. Н. Торопов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью. Российские нанотехнологии, т. 3, № 9 -10, 90−98 (2008).

Контактная информация

Тел.: (831) 417−94−60

E-mail: kluenkov@ipmras.ru