Пестов Алексей Евгеньевич
Зав. лабораторией 133 (отд. 130), к. ф.-м. н.
Персональные данные
Родился
кандидат физ.-мат. наук
Научные интересы
Многослойная рентгеновская оптика, литография экстремального ультрафиолетового диапазона, ионное травление.
Образование
- 1986 — 1990 — школа № 35
- 1990 — 1995 — школа № 29
- 1995 — 1997 — школа-лицей № 40
- 1997 — 2003 — Радиофизический факультет Нижегородского государственного университета им.
Н. И. Лобачевского ; - 1999 — 2004 — Экономический факультет Нижегородского государственного университета им.
Н. И. Лобачевского ; - 2006 — кандидатская диссертация «Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм», научные руководители — член-корр. РАН, д. ф.-м. н.
Н. Н. Салащенко , к. ф.-м. н.Н. И. Чхал ;
Профессиональная карьера
- 2000 — 2003 — старший лаборант-исследователь Института физики микроструктур РАН;
- 2003 — 2006 — аспирант Института физики микроструктур РАН;
- 2003 — 2007 — младший научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
- 2007 — н/вр — научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
Педагогическая деятельность и научное руководство курсовыми и дипломными работами
- 2007 — н/вр — проведение учебно-научного эксперимента «Многослойная рентгеновская оптика мягкого диапазона» для студентов 3 курса базовой кафедры «Физика наноструктур и наноэлектроника».
- 2009 — Храмков Роман Александрович. Бакалаврская дипломная работа (4 курс) «Применение метода ионно-пучкового травления для коррекции формы оптических поверхностей с субнанометровой точностью»
Избранные публикации последних 5-ти лет
- Bibishkin, M. S. Laboratory methods for investigations of multilayer mirrors in Extreme Ultraviolet and Soft X-Ray region / M. S. Bibishkin, D. P. Chehonadskih, N. I. Chkhalo, E. B. Kluyenkov, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, I. G. Zabrodin, S. Yu. Zuev // Proceedings SPIE. — 2004. — v. 5401. — p.8−15.
- Бибишкин, М. С. Двухзеркальный рефлектометр для относительных измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал на длине волны 13.5 нм /
М. С. Бибишкин ,И. Г. Забродин ,И. А. Каськов ,Е. Б. Клюенков ,А. Е. Пестов ,Н. Н. Салащенко ,Д. П. Чехонадских ,Н. И. Чхало ,Л. А. Шмаенок // Известия академии наук. Серия физическая. — 2004. — т.68. — № 4. — с. 560−564. - Andreev, S. S. Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation / S. S. Andreev, M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. — 2005. — v. 543. — p.340−345.
- Bibishkin, M. S. Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation / M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, A. A. Fraerman, A. E. Pestov, K. A. Prokhorov, N. N. Salashchenko, Yu. A. Vainer // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. — 2005. — v. 543. — p.333−339.
- Ю. А. Вайнер Исследование поперечной корреляции шероховатостей границ в многослойных структурах с ульра-короткими периодами. //
Вайнер Ю. А. ,Пестов А. Е. ,Прохоров К. А. ,Салащенко Н. Н. ,Фраерман А. А. ,Чернов В. В. ,Чхало Н. И. // Журнал экспериментальной и теоретической физики. — 2006. — Т.130. — №.3. — С.401−408.
- Клюенков, Е. Б. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью /
Е. Б. Клюенков ,А. Е. Пестов ,В. Н. Полковников ,Д. Г. Раскин ,М. Н. Торопов ,Н. Н. Салащенко ,Н. И. Чхало // Российские нанотехнологии. — 2008. — Т.3.№ 9−10. — С.90−98.
Контактная информация
