Лопатин Алексей Яковлевич

Научный сотрудник отдела многослойной рентгеновской оптики.

Персональные данные

Родился 05.09.1972 г., г. Горький.

Научные интересы

Многослойные абсорбционные и поляризационные фильтры для мягкой рентгеновской и экстремальной ультрафиолетовой (ЭУФ) области, проекционная ЭУФ литография

Образование

1989 — 1995 гг. — факультет ВШОПФ Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского.

Профессиональная карьера

1995 — 2009 гг. — стажер-исследователь, младший научный сотрудник, научный сотрудник ИФМ РАН.

Избранные публикации

• Фильтры для экстремального ультрафиолетового диапазона на основе многослойных структур Zr/Si, Nb/Si, Mo/Si и Mo/C / Андреев С. С., Зуев С. Ю., Клюенков Е. Б., Лопатин А. Я., Лучин В. И., Прохоров К. А., Салащенко Н. Н., Суслов Л. А, Поверхность. РСНИ №2, 6 (2003).
• Поляризаторы и фазовращатели на основе многослойных зеркал и свободно висящих пленок для диапазона длин волн излучения 2.1-4.5 нм / Андреев С. С., Бибишкин М. С., Кимура Х., Клюенков Е. Б., Лопатин А. Я., Лучин В. И., Прохоров К. А., Салащенко Н. Н., Хироно Т., Цыбин Н. Н., Чхало Н. И., Известия Академии наук. Серия физическая 68 (4), 565 (2004).
• Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation / Andreev S. S., Bibishkin M. S., Chkhalo N. I., Lopatin A. Ya., Luchin V. I., Pestov A. E., Prokhorov K. A., Salashchenko N. N., Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A543, 340 (2005).
• Multilayer Zr/Si filters for EUV lithography and for radiation source metrology / Bibishkin M. S., Chkhalo N. I., Gusev S. A., Kluenkov E. B., Lopatin A. Ya., Luchin V. I., Pestov A. E., Salashchenko N. N., Shmaenok L. A., Tsybin N. N., Zuev S. Y., Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).

Контактная информация

Тел.: (831) 417-94-76 +123

E-mail: lopatin@ipmras.ru