Основные исследования и разработки, готовые к практическому применению

Создан контактный рентгеновский микроскоп, обеспечивающий нанометровое пространственное разрешение при регистрации изображений на фоторезисте и субмикронное — при использовании сцинтиллятора и регистрации изображения на ПЗС-матрице. Благодаря естественному разделению на «рентгеновскую» и «оптическую» части, конструкция микроскопа позволяет легко перестраивать увеличение и поле зрения микроскопа без перенастройки рентгенооптических элементов. Рабочая длина волны может изменяться в пределах 3−40 нм путем замены многослойных зеркал.

Руководитель

Н.Н. Салащенко

Авторы

А. Е. Пестов, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков

Аннотация

Рис. 1. Оптическая схема микроскопа и изображения тест-объектов на ПЗС-матрице в фоторезисте.

Рис. 2. Фотография рентгеновского микроскопа.

Публикации

1. N. I. Chkhalo, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. V. Sherbakov, E. V. Skorokhodov, and M. V. Svechnikov / Sub-micrometer resolution proximity X-ray microscope with digital image registration // Review of Scientific Instruments 86, 63 701 (2015).
2. Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков / Двухкоординатный цифровой детектор для микроскопии в мягком рентгеновском диапазоне // Известия РАН. Серия физическая, 78, 102−106 (2014).
3. С. Ю. Зуев, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков / Лазерно-плазменный источник ЭУФ-излучения для проекционной нанолитографии // Известия РАН. Серия физическая. 77, 9−13 (2013).
4. М. М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало / Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов // УФН 182, 727−747 (2012).